佛山市博顿光电科技有限公司 工商查询

佛山市博顿光电科技有限公司成立于 2020 年 6 月，是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业。博顿光电以自主知识产权的高能、高准直性离子源技术的研发为依托，实现基于高能离子束的微纳制造装备的国产化，并针对新型高精度纳米薄膜与刻蚀器件、微纳表面抛光等进行特种离子源及离子束整机装备的优化与应用工艺的开发。主要产品与服务为：

1.各类高端离子源设备产品，如 RF 射频离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF 专用离子源、矩形离子源、其他特种离子源等；

2.提供离子束微纳加工装备产品与解决方案，如离子束薄膜沉积、离子束刻蚀、离子束表面处理及定制化机型等；

3.面向高端科研、泛半导体、航天军工、精密光学等应用领域提供纳米光电元器件的工艺方案开发与服务。