广东中科半导体微纳制造技术研究院 工商查询

广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下称“研究院”）成立于2019年，是由佛山市政府、南海区政府共同建设，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所支持运营的广东省属事业单位。研究院占地100亩，总建筑面积约10万平方米，立足“提升粤港澳大湾区半导体产业自主创新能力、服务区域产业提质与经济高质量发展”战略定位，聚焦芯片制造与集成技术、新型显示关键材料与核心器件方向，围绕“四个一（一平台、一基地、一园区、一产业）”发展思路，通过“概念验证+产品中试+产业孵化育成”的新型运营模式，致力于建设成为国内有影响力的半导体产业公共技术支撑平台、产业人才培训基地与产业孵化高地。

成立以来，研究院建成了半导体材料外延与微纳加中试平台，拥有粤港澳大湾区配套最完善的超净实验平台，配置先进的半导体专业设备超340台套，打造了一支具有本土特色的工艺技术团队，可满足半导体光电子器件、电力电子器件、MEMS传感器件等多种半导体分立器件的研发与中试生产制造需求，具备大尺寸氮化镓（GaN）外延材料生长、芯片加工、器件封装等全流程技术服务能力。平台自2024年通线以来，已累计为全国24个省（市、自治区）的241家企事业单位提供技术服务，累计签订合同金额近1亿元；开展国产设备验证超20台套；累计承担国家、省、市各级科研项目36项，获专项资助合同金额6,637万元，申请专利97项，发表论文57篇，参与编制团体标准9份；与顺德职业技术大学合作共建半导体工程技术人才实训基地，与华南师范大学、佛山大学等多家高校开展联培工作，累计培训工程技术人才超800人次。

围绕半导体中试平台，研究院规划建设了6万平方米的专业半导体产业园。产业园以高标准超净载体为特色，将建设成为集“众创空间—孵化器—加速器”一体化的科技企业孵化链条。目前办公孵化大楼已达到使用条件，超净载体将于2026年逐步投入使用。发起设立规模1.2亿元的“南芯一期”产业投资基金，推动以投促引，累计引进、孵化科技企业超过60家，逐步围绕区域产业核心布局方向形成产业链雏形。